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化学气相沉积作为一种有效的表面工程技术手段 ,发展十分迅速 ,应用范围日趋广泛。本文介绍了化学气相沉积制膜技术在国民经济各个领域中的应用及其发展趋势。
化学气相沉积制膜技术的应用与发展
【摘 要】
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化学气相沉积作为一种有效的表面工程技术手段 ,发展十分迅速 ,应用范围日趋广泛。本文介绍了化学气相沉积制膜技术在国民经济各个领域中的应用及其发展趋势。
【机 构】
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安徽工业大学冶金与材料学院
【出 处】
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热处理
【发表日期】
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2001年04期
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