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应小于等于0.25μm8英寸fab之需,介绍了实际工程的各项优越水质参数和高可靠、易运作等特点.讨论了水的回收技术、总有机碳(TOC)减低技术和安装/配管中的零污染的可能性.
8英寸线超纯水技术的若干特点
【摘 要】
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应小于等于0.25μm8英寸fab之需,介绍了实际工程的各项优越水质参数和高可靠、易运作等特点.讨论了水的回收技术、总有机碳(TOC)减低技术和安装/配管中的零污染的可能性.
【机 构】
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原电子部无锡微电子科研中心
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2001年9期
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