椭圆偏振光研究O+2注入Si的退火特性

来源 :辽宁大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：gmtt123

【摘要】

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用椭圆偏振仪测量了O+2注入Si后的椭偏参数Φ和Δ, 给出了离子注入辐射损伤与注入剂量和注入能量的关系.同时,对离子注入片在N2气氛中进行等时热退火,测量了Φ和Δ,给出了O+2

【作者】

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高雅君

【机构】

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辽宁大学物理系

【出处】

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辽宁大学学报(自然科学版)

【发表日期】

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2001年4期

【关键词】

：

离子注入辐射损伤退火椭圆偏振光

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用椭圆偏振仪测量了O+2注入Si后的椭偏参数Φ和Δ, 给出了离子注入辐射损伤与注入剂量和注入能量的关系.同时,对离子注入片在N2气氛中进行等时热退火,测量了Φ和Δ,给出了O+2注入Si的退火特性.结果表明:O+2注入Si的退火特性曲线,对不同的注入剂量和注入能量分别为“V”形和”W”形.对此结果, 我们进行了初步地分析和讨论.

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