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用1.064μm波长的单脉冲（6ns）激光对K9玻璃基底上电子束沉积的单层SiO2薄膜进行了辐照损伤实验。以扫描电镜对K9基底的断面进行分析，并采用表面热透镜装置对膜层中的缺陷进行了检测，最后采用Matlab偏微分工具箱对缺陷的散射光光场进行了有限元模拟。实验研究表明：膜层中存在缺陷，基底中也存在大量缺陷。模拟研究表明：缺陷的位置越深，形成的条纹间距也越宽；当缺陷的形状不规则时，在局部出现近似平行的纹波结构；当缺陷的数目增加时，这些缺陷的散射光的叠加就形成相互叠加的条纹。