【摘 要】
：
介绍了一种基于机电耦合原理的新型冲击加速度MEMS开关.此开关的阈值开关点可以通过偏置电压的改变进行调节设置,同时具有自锁定功能.文中分析了这种开关的准静态加速度静力
【机 构】
：
中国科学院研究生院,中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
论文部分内容阅读
介绍了一种基于机电耦合原理的新型冲击加速度MEMS开关.此开关的阈值开关点可以通过偏置电压的改变进行调节设置,同时具有自锁定功能.文中分析了这种开关的准静态加速度静力学平衡条件和在阶跃冲击加速度输入情况下的响应特性,并通过CoventorWare软件模拟,得到悬臂梁型开关在各种加速度输入信号（阶跃、脉冲和半正弦）情况下的瞬态响应过程.开关的实际阈值范围为1000-5000g,响应速度小于60μs.采用MEMS技术制造开关,并通过冲击加速度测试验证了设计结果.
其他文献
量子点,又称“人造原子”,它是纳米科技研究的重要组成部分。由于载流子在半导体量子点中受到三维限制而具有的独特性能,构成了量子器件和电路的基础,在未来的纳米电子学、光
新中国的两代伟人—从毛泽东到邓小平.就如何认识沿海地区的经济地位、如何发挥沿海地区的优势和作用、如何把握世界政治经济潮流的脉搏、抓住时机发展自己等事关我国兴衰的
提出p型张应变Si/SiGe量子阱红外探测器（QWIP）结构,应用k.p方法计算应变Si/SiGe量子阱价带能带结构和应变SiGe合金空穴有效质量.结果表明量子阱中引入张应变使轻重空穴反转,基
采用样条分步法SADI与高阶紧致差分相结合的方法,计算用于半导体器件模拟的流体力学模型.数值计算表明,相比当前最为流行的两种器件模拟方法CGS及Newton-SOR,这种方法可以降
王蒙不仅是一个著名的作家,同时也是一个活跃的批评家.他的批评对新时期文学创作和文学批评都产生了广泛而深远的影响.他的批评是直觉还原型,其特点是突显自己的主观感受,形
本文通过学校的人力资源、物质资源和我国教育现状的简要分析,阐明在社会主义市场经济条件下,教育必然要受市场机制的制约。但由于教育是培养人的工作,它既要传授知识,又要传
孝感学院计算机科学系创建于1995年，2000年开始招收本科生，具有授予学士学位资格。现开设有计算机科学与技术、计算机科学与技术（软件工程方向）、教育技术学（信息技术教育方向）三个
高校服务工作改革的目标是实现社会化。如何进行社会化改革，本文从三个方面即社会化概念的理解、社会化改革的步骤、社会化改革进程中的难点进行了阐述，旨在正确指导改革实践，顺
采用线性组合算符和幺正变换方法研究了磁场和库仑场对半导体量子点中强耦合极化子性质的影响．导出了强耦合束缚磁极化子的振动频率和基态能量与量子点的有效受限长度、库仑束
美国次贷危机对我国的启示在于，如果未来不加强房贷市场调控，我国金融体系将面，瞄巨大的风险。对房贷市场进行准确分析和调控的前提是必须有充足的信息。从“第二套房”的认定视