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作者从原理出发,结合实际开发的产品,由浅入深,提供了微电容检测和Q值测试方案,以及如何实现自动化测试。测试不仅能够检查裸芯片的性能是否符合要求,提前筛除不合格的产品,还能监视工艺的变化而可能导致的参数变化。
微电子机械MEMS陀螺仪的原理和测试方法研究
【摘 要】
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作者从原理出发,结合实际开发的产品,由浅入深,提供了微电容检测和Q值测试方案,以及如何实现自动化测试。测试不仅能够检查裸芯片的性能是否符合要求,提前筛除不合格的产品,
【机 构】
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上海先进半导体制造股份有限公司
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2017年05期
【基金项目】
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上海市科学技术创新基金项目(1604H136100)
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