【摘 要】
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在不改变双光子聚合微加工设备结构的基础上,介绍了利用环绕字母数字螺旋塔,在以铜片和硅片为代表的2种非透明基底上进行光刻,根据所光刻的图案,分别得出在铜片和硅片上的有
【基金项目】
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国家自然科学基金(11704204,61604084);浙江省新苗人才计划(2018R405065)
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在不改变双光子聚合微加工设备结构的基础上,介绍了利用环绕字母数字螺旋塔,在以铜片和硅片为代表的2种非透明基底上进行光刻,根据所光刻的图案,分别得出在铜片和硅片上的有效光刻距离区间以及最佳光刻距离,总结出成熟的非透明基底上光刻微结构的方法,分别在2种不透明基底上光刻二维和三维立体图案,清晰的图案说明在非透明基底上光刻方法有效可行.研究结果可为诸多双光子聚合设备在非透明基底上光刻提供参考,并有助于双光子聚合在光学微器件、微机电系统、生物组织工程等领域发挥更大的作用.
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