【摘 要】
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利用有限元仿真软件COMSOL,对基于声表面行波（tsaw）粒子分选芯片及体声波（baw）粒子富集芯片进行了分析并加以实验验证。在仿真软件中分别模拟声表面行波粒子分选芯片的声波传播、
【基金项目】
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国家自然科学基金面上项目（81572860）
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利用有限元仿真软件COMSOL,对基于声表面行波（tsaw）粒子分选芯片及体声波（baw）粒子富集芯片进行了分析并加以实验验证。在仿真软件中分别模拟声表面行波粒子分选芯片的声波传播、声场形成、粒子轨迹以及体声波粒子富集芯片的声场形成、粒子轨迹,分析其运作机理,对肉眼不可见的声波、声场分布做出可视化效果。实验结果说明这两种芯片基于不同原理,都可对微米级的硅球完成可控的操作,并对于后续的器件创新和优化打下基础。
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