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现代工业的发展要求真空镀膜设备具有对复杂曲而零部件进行均匀镀膜的能力,要实现此类工件的镀膜要求,只有引进机器人技术才能达到.本文介绍了机器人系统在磁控溅射镀膜机中的应用,并对镀膜机器人应用条件和控制过程进行论述.
机器人系统任溅射镀膜设备中的应用
【摘 要】
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现代工业的发展要求真空镀膜设备具有对复杂曲而零部件进行均匀镀膜的能力,要实现此类工件的镀膜要求,只有引进机器人技术才能达到.本文介绍了机器人系统在磁控溅射镀膜机中
【机 构】
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兰州真空设备有限责任公司,甘肃,兰州,730050
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2008年6期
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