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在场发射扫描电镜的帮助下,电子背散射技术（EBSD）能用来研究大小低达几十纳米的晶粒（或亚晶粒）,其角分辨率达~0.5°。EBSD 技术的快速发展（电子衍射花样的采集速度已高达1100点/s）使其相关领域的科技论文发表数量迅速增加。本文评述了 EBSD 的试样制备、参数优化和数据分析,特别是在大塑性变形（SPD）制备超细晶和纳米材料方面的应用。总结了电化学抛光、二氧化硅乳液机械抛光和离子束抛光等EBSD试样制备技术的优缺点和实用参数。结果表明,离子束抛光技术是一项通用的、几乎适用于所有EBSD试