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采用SIMOX和新研制的横向隔离结构作出了抗核辐射的CMOS/SIMOX器件,这些器件经2兆拉德(硅)γ射线辐射后,仍具有充分的工作性能。
抗辐射能务为兆拉德（硅）的CMOS／SIMOX 器件
【摘 要】
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采用SIMOX和新研制的横向隔离结构作出了抗核辐射的CMOS/SIMOX器件,这些器件经2兆拉德(硅)γ射线辐射后,仍具有充分的工作性能。
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1989年1期
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