论文部分内容阅读
利用石英靶射频磁控溅射制备ＳｉＯ２膜的工艺，采用Ｌ型阻抗匹配网络，并计算得到了等离子体的等效电容及等效电导。指出射频功率密度是最重要的沉积参数，靶面自偏压及ＳｉＯ２膜沉积速度均随功率密度的增加而线性增加。
射频磁控溅射制备SiO2膜
【摘 要】
：
利用石英靶射频磁控溅射制备ＳｉＯ２膜的工艺，采用Ｌ型阻抗匹配网络，并计算得到了等离子体的等效电容及等效电导。指出射频功率密度是最重要的沉积参数，靶面自偏压及ＳｉＯ２膜沉积速度均随功率密
【机 构】
：
东南大学薄膜研究所
【出 处】
：
真空科学与技术
【发表日期】
：
1995年5期
其他文献
美制药公司研制治疗视网膜炎等新药美国加利福尼亚州卡里斯巴德消息，伊希斯制药公司最近说，Ｆｏｍｉｖｉｒｓｅｎ（ＩＳＩＳ２９２２）能迅速而持久地控制ＣＭＶ视网膜炎，这种药具有临床上可接受的安全性，其特点是视网膜脱落率低
每每坐在车里,路过那金灿灿的田地,总会由衷的感到中国农业的伟大,为自己生于这片土地而自豪。这个假期笔者有幸与同学来到这神圣的耕地上,与农民们近距离接触,更深一步的感
“以诗为词”是词体独立后,接受诗体影响的创作。其实质是使词体如诗体一样成为士大夫抒情言志的工具,其表现为将诗之题材内容引入词之领域,以作诗的手法作词,促进词风典雅化
2月27日，五征集团召开2015年营销工作动员大会，安排部署2015年度营销工作，号召全体营销人员要加强合作，密切配合，在经济新常态的市场竞争中形成合力，促进营销工作再上新台阶。
甲硝唑腹腔注入预防穿孔型阑尾炎术后腹腔和切口感染的效果孙庆华，王善璞山东省威海市文登口腔医院，山东省威海市文登中心医院关键词阑尾炎，穿孔，甲硝唑我院１９８９～１９９２年采用甲硝唑注射液，腹
“人物专访”栏目是仪器信息网的品牌栏目之一，自2005年创办以来，已经采访了一百五十余位业内知名专家、仪器厂商负责人，及时准确地报道了为中国仪器行业做出突出贡献的精英人物
用探孔场发射显微镜研究了氧在W(100)面和W(111)面上的吸附和解吸过程。在3.8×10~(-6)Pa的氧压和291K的温度下吸附氧,W(100)面和W(111)面上功函数的最大增量分别为△φ~
在很多情况下，扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）图像的几何形貌方面的误差主要是由压电陶瓷的漂移、Ｘ扫描器和Ｙ扫描器的压电系数的不一致性和压电陶瓷扫描时的非正交性引起的。本文建立了一种物理