基于MEMS集成加热器的温控系统研究

来源 :北京大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：march2th

【摘要】

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采用MEMS集成加热器设计一个温控系统。所用的加热器效率达到7．35mm2K/mW且功耗低。加热器面积为6min × 6mm，具有较高的系统集成度。该温控系统采用Fuzzy．PID温度控制算法，

【作者】

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江少波苏卫国万松邓康发张威

【机构】

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北京大学微电子学研究院

【出处】

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北京大学学报(自然科学版)

【发表日期】

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2014年4期

【关键词】

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MEMS传感器温度漂移集成度 FUZZY-PID控制 MEMS sensor temperature drift integration Fuzzy-

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采用MEMS集成加热器设计一个温控系统。所用的加热器效率达到7．35mm2K/mW且功耗低。加热器面积为6min × 6mm，具有较高的系统集成度。该温控系统采用Fuzzy．PID温度控制算法，温度稳态误差小于0．1℃，并且约10秒即达到稳态，响应速度快。使用该系统对MEMS压力计进行环境温控，可明显抑制器件的温度漂移。

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