【摘 要】
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对于窄长的精密表面,常用平晶以干涉法测量。当被测体尺寸较大时,可用小平晶以分段法测量,如图1所示。测量时,根据平晶的直径将被测表面等分成若干段,每次以平晶两端点为零,
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对于窄长的精密表面,常用平晶以干涉法测量。当被测体尺寸较大时,可用小平晶以分段法测量,如图1所示。测量时,根据平晶的直径将被测表面等分成若干段,每次以平晶两端点为零,测出此范
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