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介绍了氧化铈及其复合磨料的主要制备方法,描述了该材料在化学机械抛光(CMP)应用中的研究进展。针对当前研究所面临的问题进行简要分析,并展望了其今后的研究方向。
氧化铈及其复合磨料的研究进展
【摘 要】
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介绍了氧化铈及其复合磨料的主要制备方法,描述了该材料在化学机械抛光(CMP)应用中的研究进展。针对当前研究所面临的问题进行简要分析,并展望了其今后的研究方向。
【机 构】
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合肥工业大学化学与化工学院
【出 处】
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安徽化工
【发表日期】
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2021年1期
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