【摘 要】
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分子泵是半导体、真空镀膜等行业的基础关键设备,其技术和市场长期为国外巨头所垄断。本文针对其研发和应用中所存在的部分难点问题,包括泵体与轴承的散热、振动和噪声的抑制
【机 构】
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国家知识产权局专利局专利审查协作北京中心
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分子泵是半导体、真空镀膜等行业的基础关键设备,其技术和市场长期为国外巨头所垄断。本文针对其研发和应用中所存在的部分难点问题,包括泵体与轴承的散热、振动和噪声的抑制、转子叶片蠕变的控制等,通过专利分析的方法,从宏观上分析分子泵专利技术的发展历程、技术分布国别和主要的专利持有人,从微观上梳理了这些问题的现有解决方案。通过这些分析与整理,发现分子泵的专利技术主要集中在为数不多的行业巨头手中,围绕这些难点问题提出了一系列的技术方案,提出国内业者应重视现有技术的运用,直接使用进入公有领域的技术或在现有专利技术基础上进行研发,并学习行业巨头的专利布局经验,从而获得后发优势,在竞争中掌握话语权。
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