【摘 要】
：
文章设计一种300mm硅片真空传输系统,满足市场对硅片传输过程高精度,高洁净度,高效率的需求。其中硅片传输腔室采用真空设计,并优化了真空腔室的结构以适应300mm硅片传输,真
【基金项目】
：
国家科技重大专项02专项（2014ZX02103005）
论文部分内容阅读
文章设计一种300mm硅片真空传输系统,满足市场对硅片传输过程高精度,高洁净度,高效率的需求。其中硅片传输腔室采用真空设计,并优化了真空腔室的结构以适应300mm硅片传输,真空度可达2×10^-7Torr。真空机械手采用对称连杆直驱机械手,大气机械手采用R-θ型机械手,其重复精度均为±0.1mm。设计了AWC纠偏检测系统,利用光电对射传感器,实现对硅片的实时检测及位置纠正。通过验证性试验数据分析,得到整个系统的整体精度、洁净度、真空度和真空变化值满足工作要求,验证了设计的合理性。
其他文献
目的:探讨基于RNA结合蛋白(RNA binding proteins,RBPs)构建膀胱癌预后模型并验证其准确性。方法:从癌症基因组图谱(Cancer Genome Atlas,TCGA)数据库中下载膀胱癌的RNA测序
立法评估的理论基础是良法理论,立法评估的指标体系则是良法的标准,立法评估的根本目的就在于根植于人类社会几千年来对良法的不懈追求。我国现阶段地方政府立法评估指标体系
目的探讨经口入路低温等离子切除早期声门型喉癌的效果。方法2011年9月~2016年1月对105例早期声门型喉癌(T1期87例,T2期18例)全麻下行经口入路低温等离子喉肿瘤切除术,术后定
目的探讨上关节突截骨导引(Superior articular process Osteotomy Navigation,SapON)椎间孔镜技术治疗腰椎间盘突出症的疗效。方法2016年3月~2018年1月经皮椎间孔镜手术治疗
唐钢本部受外围条件影响高炉入炉矿结构频繁变化,通过配加优质无烟煤来优化高炉配煤结构,已成为高炉稳定、顺行、提产、降本的支撑条件。高炉喷吹煤粉在配加无烟煤8号与无烟
中国证券法深受经济转型的影响,其政策目标多元而不均衡,前期立法重点在于规避金融风险,偏于保守,晚近的立法在鼓励创新方面有所进步,但仍显不足。证券法在发展过程中始终存