【摘 要】
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微电子技术是现代信息技术的基础与核心,近年来,随着微电子技术由原来的二维加工逐渐向三维加工发展,微电子技术对信息技术以及人们日后的生活产生了巨大的影响。微机电系统,
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微电子技术是现代信息技术的基础与核心,近年来,随着微电子技术由原来的二维加工逐渐向三维加工发展,微电子技术对信息技术以及人们日后的生活产生了巨大的影响。微机电系统,即微电子机械系统,是电子与精密机械加工技术完美融合的产物,是多学科交叉的新领域。在全球经济发展背景下,电子通信技术产业作为基础性产业具有举足轻重的地位,微机电系统表现出的高科技含量是电子通信技术产业的重要代表,微机电系统的发展水平将代表我国整个电子通信产业的发展水平。
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