非制冷红外探测器夹层厚膜工艺及介电性能研究

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【摘要】

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以钡、锶和锰醋酸盐为原料，采用新型溶胶一凝胶法制备锰掺杂4％mol、Ba／Sr分别为60／40、65／35和70／30的纳米粉体，均匀分散于组分相同的BST溶胶中，形成稳定的厚膜先体凝胶。浓度0．4mol／L

【作者】

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范茂彦姜胜林谢甜甜张洋洋张丽芳

【机构】

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华中科技大学电子科学与技术系,玉溪师范学院

【出处】

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功能材料

【发表日期】

：

2009年7期

【关键词】

：

红外新型sol—gel技术 LNO/Pt复合底电极夹层厚膜介电增强 infrared； new sol-gel process；LNO/Pt compos

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以钡、锶和锰醋酸盐为原料，采用新型溶胶一凝胶法制备锰掺杂4％mol、Ba／Sr分别为60／40、65／35和70／30的纳米粉体，均匀分散于组分相同的BST溶胶中，形成稳定的厚膜先体凝胶。浓度0．4mol／L钛酸钡凝胶薄膜种子层，作为不同组分厚膜之间的中间夹层。利用旋转涂覆工艺在LNO／Pt／Ti／SiO2／si复合底电极上，制备出厚度约为6～10μm的BST介电增强型夹层厚膜。XRD测试结果表明，650℃热处理2h后的夹层厚膜为单一钙钛矿相，750℃热处理后2h的夹层厚膜在室温、环境温度25℃、频率1k

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