【摘 要】
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三氯化硼在精细化学品、航空航天、材料加工及半导体领域具有不可替代的作用。三氯化硼在大规模集成电路金属铝层刻蚀制程中起到重要作用,其纯度与质量要求较为严格。详尽地
【机 构】
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绿菱电子材料（天津）有限公司,天津绿菱气体有限公司
【基金项目】
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绿菱作为联合体成员之一,承担中芯国际牵头主持的2018年工业转型升级资金(部门预算)——国家新材料生产应用示范平台建设项目之课题3“集成电路工艺用材料生产应用示范平台”(项目编号:TC180A6MR)
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三氯化硼在精细化学品、航空航天、材料加工及半导体领域具有不可替代的作用。三氯化硼在大规模集成电路金属铝层刻蚀制程中起到重要作用,其纯度与质量要求较为严格。详尽地将三氯化硼的制备和纯化方法进行了归纳与总结,并追踪了近几年的工艺发展,认为在现有传统三氯化硼生产工艺基础上进行改进,降低能耗、提高合成选择性、提高安全性能与提高传质效率是三氯化硼生产的发展趋势。期待为国内高纯三氯化硼的研发和生产提供借鉴作用,从根本上解决高纯三氯化硼依赖进口、受制于人的被动局面。
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