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介绍了两种基于面阵相机识别生成晶圆图谱(Wafer Map)的算法,并对两种算法的执行效率和适用范围进行了比较,两种算法根据执行效率和适用范围的不同,应用于不同的半导体设备.
基于面阵相机识别生成晶圆图谱的算法研究
【摘 要】
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介绍了两种基于面阵相机识别生成晶圆图谱(Wafer Map)的算法,并对两种算法的执行效率和适用范围进行了比较,两种算法根据执行效率和适用范围的不同,应用于不同的半导体设备.
【机 构】
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北京中电科电子装备有限公司,北京100176
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2021年5期
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