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题述的氟橡胶组成物在高负荷、等离子照射的情况下，可形成性能优良的硫化胶。该氟橡胶组成物，每100质量份氟中，质量分数68％以上的过氧化可交联的氟橡胶含多功能不饱和化合物交联剂0．7～2．4质量份，有机过氧化物0．3～1．0质量份。用该氟橡胶制得的硫化物经氧气等离子处理后具有卓越的耐等离子性，特别是高负荷状态下照射等离子时，其耐断裂性非常强。在密封状态下，能显示出必要的常态物理参数和压缩永久应变参数。因此，上述硫化物非常适用于制作半导体及液晶装置的零部件，如密封件、运输用滚筒等。