【摘 要】
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<正> 本项目以金刚石薄膜为对象,利用直流辉光等离子体化学气相沉积、真空蒸镀、离子束沉积、阴极荧光和多功能光谱测试等方法,研究了气相合成条件与金刚石薄膜发光特性的关
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<正> 本项目以金刚石薄膜为对象,利用直流辉光等离子体化学气相沉积、真空蒸镀、离子束沉积、阴极荧光和多功能光谱测试等方法,研究了气相合成条件与金刚石薄膜发光特性的关系,对金刚石薄膜的发光波长和强度进行实验控制。在这个基础之上,研制金刚石薄膜场致发光器件。 1.金刚石薄膜合成条件与其发光特性关系的研究光谱测量结果表明,直流辉光等离子体化学气相沉积方法合成的金刚石薄膜,具有四个发光峰。在短波长区域的两个峰位于442纳米和528纳米,分别对应蓝光和绿光。另外两个
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