CO2激光辐照下光学薄膜的热畸变研究

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采用夏克一哈特曼波前传感器对不同基底材料、不同厚度单层光学薄膜以及不同膜系的多层光学薄膜样品在10.6μm激光辐照下的热畸变进行了实验研究。
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