【摘 要】
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采用化学气相沉积法在硬质合金基体上沉积具有不同碳氮比的MT-Ti（C,N）涂层,通过扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）、能谱仪（EDS）和纳米硬度仪、划痕仪分别对其微观组织和机械
【基金项目】
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国家科技重大专项《国产五轴联动数控机床柔性生产线及生产单元飞机结构件应用示范基地》(编号:2015ZX04001002)
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采用化学气相沉积法在硬质合金基体上沉积具有不同碳氮比的MT-Ti（C,N）涂层,通过扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）、能谱仪（EDS）和纳米硬度仪、划痕仪分别对其微观组织和机械性能进行分析。研究结果表明：碳源对MT-Ti（C,N）涂层中的碳氮比起着至关重要的作用;其中,在现有单一的乙腈（CH3CN）中温化学涂层反应体系中,引入C2H4可以有效提高MT-Ti（C,N）涂层的碳氮比,且随着碳氮比的增大,MT-Ti（C,N）涂层的晶粒得到明显细化。与此相对应的纳米硬度、弹性模量和结合力也随C/
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