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本文分析了微机械谐振器的非线性动力学原理。根据振梁的非线性谐振条件下激励与检测信号相位关系，确定了基于锁相技术驱动的系统分析模型。利用平均周期法得到了系统稳定条件和稳态平衡点，理论分析和仿真表明：振梁刚度的高次项系数的增大，不影响系统的稳定性；当积分控制器系数小于临界值时，频率跟踪时间长，不出现频率抖动；反之，频率跟踪稳定时间短，频率抖动。