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随着科学技术的发展,超细粒子的用途愈来愈广泛,但实现超细粒子实用化的关键技术一表面加工还未得到解决.近年来,有关细颗粒流态化技术的研究及 CVD 反应器中成核与成膜竞争机制的研究,为实现超细粒子的表面加工提供了一种新途径一流态化 CVD 技术,本文综述了流态化 CVD 技术的最新进展.
流态化CVD技术进展
【摘 要】
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随着科学技术的发展,超细粒子的用途愈来愈广泛,但实现超细粒子实用化的关键技术一表面加工还未得到解决.近年来,有关细颗粒流态化技术的研究及 CVD 反应器中成核与成膜竞争
【机 构】
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华东化工学院联合所技物室,华东化工学院联合所技物室上海200237,上海200237
【出 处】
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化工冶金
【发表日期】
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1992年4期
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