光学窗口用低应力类金刚石薄膜

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：huoshengxin

【摘要】

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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技

【作者】

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王娜吴慎将苏俊宏徐均琪王可瑄

【出处】

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真空科学与技术学报

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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光学窗口射频磁控溅射类金刚石薄膜光学特性应力表面形貌

【基金项目】

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国家自然科学基金项目(61205155);陕西省科技厅重点实验室基金项目(2015SZSJ-60-1);西安市科技计划基金资助项目(No.2017075CG/RC038(XAGY011)

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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技术领域,包括主机、控制电路和计算机三部分组成,主机包括由棱镜。敏感膜敏感芯片、半导 Ue*M#

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