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FSI国际宣布将ViPRTM全湿法去除技术扩展到NAND存储器制造
FSI国际宣布将ViPRTM全湿法去除技术扩展到NAND存储器制造
来源 :电子与封装 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bingdongfenxing
【摘 要】
:
<正>全球领先的半导体制造晶圆加工、清洗和表面处理设备供应商FSI国际有限公司3月24日宣布:一家主要的存储器制造商将FSI带有独特ViPRTM全湿法无灰化清洗技术的
【作 者】
:
本刊通讯员
【出 处】
:
电子与封装
【发表日期】
:
2009年04期
【关键词】
:
全湿法
金属硅化物
存储器
FSI
去除技术
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<正>全球领先的半导体制造晶圆加工、清洗和表面处理设备供应商FSI国际有限公司3月24日宣布:一家主要的存储器制造商将FSI带有独特ViPRTM全湿法无灰化清洗技术的
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