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期刊论文
金刚石及相关薄膜制备研究进展
金刚石及相关薄膜制备研究进展
来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sayaka66
【摘 要】
:
金刚石及相关薄膜材料指的是金刚石薄膜和立方氮化硼薄膜,它们的制备技术被称为“新金刚石技术”。评述了这类材料制备技术研究进展,指出成核及生长机理的研究将是它们走向实用
【作 者】
:
杨国伟
【机 构】
:
湘潭大学物理系
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2000年1期
【关键词】
:
金刚石薄膜
立方氮化硼
薄膜制备
低压气相沉积
diamond
cubic boron nitride
preparation
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金刚石及相关薄膜材料指的是金刚石薄膜和立方氮化硼薄膜,它们的制备技术被称为“新金刚石技术”。评述了这类材料制备技术研究进展,指出成核及生长机理的研究将是它们走向实用化的关键。
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