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期刊论文
微加速度传感器硅微结构设计
微加速度传感器硅微结构设计
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jipin226
【摘 要】
:
:围绕加速度信息 ,探讨微机电加速度传感器的设计和分析 ,提出了微机电传感系统硅微结构设计的原则 ,并根据典型的弹性质量系统 ,建立了其过载变形的模型 ,给出了用于计算位
【作 者】
:
金磊
高世桥
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
2000年2期
【关键词】
:
微机电系统
微加速度传感器
硅微结构
设计
MEMS
microaccelerometer
silicon microstructure
dynamic
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:围绕加速度信息 ,探讨微机电加速度传感器的设计和分析 ,提出了微机电传感系统硅微结构设计的原则 ,并根据典型的弹性质量系统 ,建立了其过载变形的模型 ,给出了用于计算位移加速度关系系数的方法。
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