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期刊论文
基于AFM的纳米机械刻蚀加工研究
基于AFM的纳米机械刻蚀加工研究
来源 :农业机械学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:killlikk
【摘 要】
:
结合原子力显微镜实验及分子动力学模拟,研究刻蚀加工机理,分析了针尖弹性模量、几何形状、磨损等工具因素,刻蚀力、进给量、加工速度等工艺因素,加工材料性质、表面质量等工
【作 者】
:
蒋洪奎
朱春耕
胡礼广
姚汤伟
【机 构】
:
浙江师范大学交通学院讲师
【出 处】
:
农业机械学报
【发表日期】
:
2007年8期
【关键词】
:
纳米机械
刻蚀
分子动力学模拟
原子力显微镜
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结合原子力显微镜实验及分子动力学模拟,研究刻蚀加工机理,分析了针尖弹性模量、几何形状、磨损等工具因素,刻蚀力、进给量、加工速度等工艺因素,加工材料性质、表面质量等工件因素对加工的影响及作用机理。
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