【摘 要】
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利用定向仪对啄生晶片及加工后的碲锌镉衬底的晶向进行比较，观察不同晶向衬底液相外延碲镉汞薄膜的表面形貌，考察了衬底晶向偏差对液相外延碲镉汞薄膜表面形貌的影响。通过进一
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利用定向仪对啄生晶片及加工后的碲锌镉衬底的晶向进行比较，观察不同晶向衬底液相外延碲镉汞薄膜的表面形貌，考察了衬底晶向偏差对液相外延碲镉汞薄膜表面形貌的影响。通过进一步的追踪碲锌镉衬底在加工过程中的晶向变化，研究衬底晶向变化的啄因和解决方法。研究发现，碲锌镉晶体在初次定向切割后的加工过程中晶向会发生明显变化，而在厚度减薄较大的粗磨工艺后不会发生较大晶向偏差，因此，可将粗磨后衬底的再次定向结果作为进一步筛选碲锌镉衬底的依据，以保证液相外延碲镉汞薄膜的喷量。
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