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MEMS毫米波相移器是MEMS毫米波相控阵天线的关键部件之一。它的性能直接决定了毫米波相控阵天线的性能。该文介绍毫米波MEMS相移器的设计，研究低损耗衬底，Au，Al。Si1-x可动膜对下拉电压和传输损耗的影响，测试表明：21桥相位连续可调的分布式压控开关阵列一毫米波相移器在35GHz时，启动电压5V，20V时相移量达到372°／3．5mm，并能在不同的控制电压下根据要求改变相移量。