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为了减缓乙烯裂解炉管内表面的结焦，采用常压化学气相沉积方法，以二甲基二硫（DMDS）和正硅酸乙酯（TEOS）为先驱体。在预氧化的HP40合金试样上制备了SiO2／S复合涂层。分析了沉积温度、气体流速和沉积时间对涂层沉积速率的影响。利用扫描电镜、XPS和Raman光谱分别对涂层的形貌、成分和化学结构进行了表征，并对预氧化试样与涂层的结合进行了实验研究。结果表明，涂层主要由三节环Si2O-Si结构和Si-O-S结构组成，预氧化的试样涂层沉积速率是未氧化试样的2～3倍，试样氧化后涂层的抗热冲击性能和结合强度得到