【摘 要】
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本文探討了会聚光路橫向剪切干涉仪的几个理论问题。它们是光源的临界尺寸,离焦剪切模式,象差干涉图分析及灵敏度等问题。此类问题对干涉仪設计是十分重要的。
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本文探討了会聚光路橫向剪切干涉仪的几个理论问题。它们是光源的临界尺寸,离焦剪切模式,象差干涉图分析及灵敏度等问题。此类问题对干涉仪設计是十分重要的。
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