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就微电子机械系统而言,硅基微机械加工技术是其重要的实现技术之一.这种技术的应用是微电子机械系统形成良好性能的重要保障.本文从硅基微机械加工技术的种类入手,对这种加工技术的应用进行分析和研究.
硅基微机械加工技术
【摘 要】
：
就微电子机械系统而言,硅基微机械加工技术是其重要的实现技术之一.这种技术的应用是微电子机械系统形成良好性能的重要保障.本文从硅基微机械加工技术的种类入手,对这种加工
【机 构】
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大庆市实验中学
【出 处】
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电子世界
【发表日期】
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2016年23期
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