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以磁控溅射制备的TiO2薄膜为样品,通过对薄膜折射率、吸收系数、膜厚度与入射光波长相互关系的分析,获得了TiO2薄膜的折射率、吸收系数与入射光波长的关系式,以及TiO2薄膜厚度的计算公式.
TiO2薄膜光学性质的研究
【摘 要】
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以磁控溅射制备的TiO2薄膜为样品,通过对薄膜折射率、吸收系数、膜厚度与入射光波长相互关系的分析,获得了TiO2薄膜的折射率、吸收系数与入射光波长的关系式,以及TiO2薄膜厚
【机 构】
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广西师范大学,云南大学
【出 处】
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大学物理
【发表日期】
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2005年7期
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