【摘 要】
：
为了适应离子注入和离子束动态混合沉积技术工业应用的要求,中国科学院等离子体物理所致力于具有大辐照面积的强流直流离子源的研制。目前引出的离子流对氢为350mA,氮为200mA
【机 构】
：
中国科学院等离子体物理所,中国科学院等离子体物理所
论文部分内容阅读
为了适应离子注入和离子束动态混合沉积技术工业应用的要求,中国科学院等离子体物理所致力于具有大辐照面积的强流直流离子源的研制。目前引出的离子流对氢为350mA,氮为200mA,氩为150mA,能量达到50keV。源等离子体如同ORNL一样由热阴极反射型弧放电形成,但中间电极几何尺寸与ORNL有较大的不同。引出系统由加-减速栅组成,19个孔径为6mm的孔在三电极上六边形排列。引出面直径为6cm,在距引出栅2m处直径为25cm的靶上测得束的均匀性约90%。
其他文献
未改性的介孔无机凝胶虽然具有较大的孔径，原则上可以吸附较大的分子或离子，但由于吸附剂的表面性质简单，与吸附质之间的作用力弱，因而吸附容量低，选择性不理想。采用表面修饰或杂
自Web服务进入技术领域以来,大多数Web服务都是围绕着远程过程调用而构建的,而WSDL规范允许另外一种Web服务体系结构:文档样式。在该体系结构中,整个文档在服务客户端和服务器之间进行交换。文中就这两种调用模型进行了分析与比较,并提出一种开发文档样式的Web服务的解决方案。
目的探讨乙状窦后入路切除听神经瘤术中神经电生理监测保护面神经的应用方法与效果。方法将88例听神经瘤患者根据随机抽签原则分为治疗组44例与对照组44例。2组都采用显微手
针对海南省昌江县辣椒地肥力情况及当地辣椒施肥现状,在当地辣椒常规施肥的基础上,采用田间对比试验,分别研究氮、磷、钾单一缺乏及不同施氮水平对辣椒产量及单果重的影响。
在每年的体格检查及身高、体重测量后,总会发现少数幼儿体格发育不同于大多数的幼儿。有的表现在体格发育迟缓,体重过轻或营养不良;有的是体重过重或肥胖:还有的表现在体质上
一种基于表面微机械和压电薄膜技术的体声波器件新结构，是在多晶硅膜片上演积氧化锌（ZnO）压电薄膜。ZnO膜是在c轴采用S枪磁控反应溅射定向生长，而多晶硅膜片采用表面微机械技术制
一种箭载液氦深冷泵已由中科院空间中心和低温中心研制成功。经实验测试和分析证实，性能上有≥2000L／s的高抽速，对火箭飞行的大气环境和时间而言，箭载深冷泵对He，H2一类难凝气体有
利用射频等离子体增强化学气相沉积（RF—PECVD）技术，以B2H6为掺杂剂，在玻璃衬底上制备了厚度为40nm左右的P型微晶硅薄膜。为获得高电导率高晶化率的薄膜，采用正交实验法对衬底温度
目的 探讨新辅助化疗联合手术对老年食管癌患者CEA、CA199和CA125的影响.方法 将100例老年食管癌（Ⅱ~Ⅲ期）患者随机分为实验组和对照组.实验组患者于术前给予新辅助化疗后行手