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研究了在平整的玻璃上制作微管道的方法和玻璃-玻璃键合技术：讨论了腐蚀条件对玻璃的腐蚀速率和微管道表面形貌的影响。玻璃键合采用热键合，键合温度为620℃，得到的键合面剪切强度为玻璃本身剪切强度的0.44倍。在电泳芯片上实现了样品的分离。
毛细管电泳芯片的制造
【摘 要】
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研究了在平整的玻璃上制作微管道的方法和玻璃-玻璃键合技术：讨论了腐蚀条件对玻璃的腐蚀速率和微管道表面形貌的影响。玻璃键合采用热键合，键合温度为620℃，得到的键合面剪切强
【机 构】
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清华大学精仪系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2001年1期
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