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3.3.2图案的保真度、压印面积与图案均匀性Chou等人[15]曾经把聚合物薄膜上压印出的沟槽图案与进而用剥离技术转移得到的线条图案进行比较,以此作为图案保真度的指标.结果是:压印所得宽15 nm的沟槽,经过剥离技术转移后成为宽25 nm的线条.
纳米器件的一种新制造工艺——纳米压印术(续)
【摘 要】
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3.3.2图案的保真度、压印面积与图案均匀性Chou等人[15]曾经把聚合物薄膜上压印出的沟槽图案与进而用剥离技术转移得到的线条图案进行比较,以此作为图案保真度的指标.结果是:
【机 构】
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中国科学院物理研究所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年5期
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