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本文简要地回顾了超导发展和应用的历史，概述了高温超导薄膜的制备工艺及其进展。对高温超导多层ＹＢＣＯ薄膜布图布线技术进行了综述，重点介绍了高温超导多层薄膜布图布线技术中的刻蚀法、激光退火法、水汽退火法和涂敷化学试剂法的基本原理、工艺特点和最新发展情况，其中包括了我们研究ＹＢＣＯ超导薄膜水汽退火布图技术的初步结果。