纳米氧化铝膜孔径可控性动力学模型及其生长规律

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采用新的二次阳极氧化工艺,制备了孔径为30~70 nm的阳极氧化铝(anodized Al2O3,AAO)膜。用扫描电镜和原子力显微镜观察了AAO膜孔洞的结构、形貌和它们的排列,发现制备的AAO铝膜的孔的纵横比大,孔分布有序,上下贯通,孔间相互平行,孔通道无交叉且有序。研究了电解液浓度、扩孔时间对膜孔半径的影响,建立了动力学模型,得出在一定时间内,孔径大小与电解液浓度之间呈对数关系,而与扩孔时间呈线性关系。根据电场理论,膜压应力值随扩孔时间增加趋向于表面张力值,当达到平衡后,膜孔孔径的大小随之确定。
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