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通过对以纳米技术为代表的高新技术产品的特性和其对洁净室的要求的研究，分析了高新技术企业洁净室污染的主要因素和控制理念、内容、程序，并以半导体中的污染控制技术为例，对其进行了详细介绍。
高新技术企业洁净环境控制研究
【摘 要】
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通过对以纳米技术为代表的高新技术产品的特性和其对洁净室的要求的研究，分析了高新技术企业洁净室污染的主要因素和控制理念、内容、程序，并以半导体中的污染控制技术为例，对其
【机 构】
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南京扬子石油化工设计工程有限责任公司
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2008年4期
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