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重点论述了一种新型传感器芯片 晶花芯片及由其构成的晶花传感器，探讨了从选晶、切割、非圆晶片、晶轴取向、晶花布阵、绝缘到布线等一系列问题，阐明转换基理和工艺过程，并给出几种典型芯片模式，以及它在大力值测量中的应用。
晶花传感器及其在大力值测量中的应用
【摘 要】
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重点论述了一种新型传感器芯片 晶花芯片及由其构成的晶花传感器，探讨了从选晶、切割、非圆晶片、晶轴取向、晶花布阵、绝缘到布线等一系列问题，阐明转换基理和工艺过程，并给出几种典型芯片模式，以及它在大力值测量中的应用。
【机 构】
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大连理工大学机械系,河北科技大学
【出 处】
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辽宁工学院学报
【发表日期】
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1999年05期
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