Nb/Nd共掺Bi4Ti3O12对ZnO基薄膜晶体管性能的影响

来源 :光电子.激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:woxxlong
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
利用化学溶液沉积(CSD)法,在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上成功制备以B3.15Nd0.85Ti3-x NbxO12(BNTNx,x=0.01,0.03,0.05,0.07)薄膜作为栅介质层、以ZnO薄膜作为有源层的铁电薄膜晶体管(ZnO/BNTN铁电TFT)。研究了Nb含量对BNTN薄膜微结构、介电和铁电性能的影响。结果表明,BNTN0.03薄膜的剩余极化(2 Pr)最大(71.4μC/cm2),介电常数最大(370)。测得BNTNx薄膜的居里温度约为410℃,介电损耗(tanδ)约为0.02。ZnO/BNTN铁电TFT相比ZnO/SiO2层TFT,有较好的输出特性和转移特性,其阈值电压、沟道迁移率、存储窗口和开关电流比分别达到了2.5V、5.68cm2/Vs、1.5V和1.8×105。
其他文献
海量数据的快速匹配已经成为当前应用系统一个严峻问题,针对此问题展开深入讨论,将分布式技术与Bloom Filter技术有效结合,给出一种基于Bloom Filter的分布式快速匹配算法。
盘式制动器作为矿井提升机制动系统的重要组成部分,是整个制动系统的最终执行者,其性能直接影响到提升系统的安全可靠性,对保证煤矿安全高效生产具有重要意义。由于制动正压
利用溶液法制备 Nd 掺杂 ZnO,并通过 X 射线衍射(XRD)、紫外-可见吸收光谱(UV-Vis)和光电流密度-光电压曲线研究 Nd 掺杂对 ZnO 带隙及染料敏化太阳能电池光电性能的影响.结果表
采用柠檬酸络合的无机盐溶胶-凝胶法制备稀土掺杂铜铁矿结构的CuAlO2 粉末,掺杂元素M 为稀土Eu、Nd、Y.用DSCGTGA、X 射线衍射仪、紫外G可见光分光光度计等测试方法分别对掺
随着医学模式的转变,以患者为中心,以新的护理观为指导,以护理程序为框架的整体护理要求护理人员把生理治疗和心理治疗结合起来,医疗和预防保健结合起来,在日常工作中开展健
菊花(Dendranthema morifolium(Ramat.)Tzvel.)隶属菊科菊属,多年生草本植物。菊花种质资源丰富,由于形态易受环境影响其形态变异多样化,给菊花品种的分类、遗传多样性研究造
存在许多因素可以影响整个发酵过程的进行。培养基中的溶氧浓度(DO)作为其中一个最基本的因素,它能显著影响微生物的生长和产物的形成。在发酵过程中必须根据不同阶段供给适
权方和不等式及其应用谭登林(贵州平塘县民族中学558300)设ai,bi>0(i=1,2,…,n),mN,则等号当且仅当时成立.不等式(*)称为权方和不等式,这个不等式对称、和谐,充分体现了数学美.本文拟通过换元并利用均值不等式对它
为贯彻落实《农业部办公厅财政部办公厅关于印发〈2012年高产优质苜蓿示范建设项目实施指导意见〉的通知》精神,实施苜蓿标准化高产创建,配套田间灌溉设施,要认真贯彻落实农
近年来,借助低温方法对恶性肿瘤实施靶向治疗已成为肿瘤临床和生物医学工程研究领域中的重要主题.为了突破制约传统冷冻手术治疗效率的技术瓶颈,本实验室首次提出将纳米技术