Similarity theory based method for MEMS dynamics analysis

来源 :Journal of Harbin Institute of Technology | 被引量 : 0次 | 上传用户：parrotxu

【摘要】

：

A new method for MEMS dynamics analysis is presented,ased on the similarity theory. With this method, two systems' similarities can be captured in terms of

【作者】

：

李瑰贤彭云峰张欣

【机构】

：

SchoolofMechanicalandElectronicEngineering,Dept.ofComputerScienceandEngineering

【出处】

：

Journal of Harbin Institute of Technology

【发表日期】

：

2008年3期

【关键词】

：

相似理论微机电系统动态分析等效电路 similarity theory MEMS dynamics equivalent between mechan

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A new method for MEMS dynamics analysis is presented,ased on the similarity theory. With this method, two systems' similarities can be captured in terms of physics quantities/governed-equations amongst different energy fields, and then the unknown dyn

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