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研制了一台用于原子光刻的亚稳态氖原子束源,其束流强度可达3.3×1014 atoms/s·Sr..研究了束流强度的变化规律,并对其机理进行了探讨.
原子光刻用亚稳态氖原子束源的研究
【摘 要】
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研制了一台用于原子光刻的亚稳态氖原子束源,其束流强度可达3.3×1014 atoms/s·Sr..研究了束流强度的变化规律,并对其机理进行了探讨.
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所量子光学开放实验室
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家自然科学基金;
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