【摘 要】
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改良西门子法制备多晶硅过程中,化学气相沉积所需能量全部由电流加热硅棒提供。本文考虑多晶硅还原炉中辐射和对流热量传递形式,耦合频率控制的焦耳电加热方程,建立了12对棒
【机 构】
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昆明理工大学复杂有色金属资源清洁利用国家重点实验室,昆明理工大学冶金与能源工程学院,昆明冶金研究院
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改良西门子法制备多晶硅过程中,化学气相沉积所需能量全部由电流加热硅棒提供。本文考虑多晶硅还原炉中辐射和对流热量传递形式,耦合频率控制的焦耳电加热方程,建立了12对棒多晶硅还原炉热场-电磁场耦合模型,并通过工业数据验证了其模拟结果的合理性。分析了硅棒半径、交流电频率以及反应器壁发射率对西门子还原炉内、外硅棒内部温度及电流密度分布的影响。结果表明:当硅棒半径增长到所用交流电频率引起的趋肤深度时,交流电趋肤效应开始显著影响硅棒内部温度梯度;交流电频率的增大,硅棒内部温度梯度逐渐减小;反应器壁发射率增加,低频时硅
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