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纳米线机械性能测试中，常见MEMS器件大都采用焊接或沉积方式固定纳米线，限制了器件寿命和测试重复性。针对焊接方式测试的不足，设计了一种非焊接式纳米线机械性能测试MEMS器件。在静电叉指和支撑梁结构的基础上，设计了利用梁刚度差进行夹紧和拉伸操作的结构，其中设计了V型结构以避免焊接纳米线。利用有限元仿真软件进行了仿真验证，确定了最优结构尺寸，V型缝隙夹角小于22．5。时能满足纳米线机械性能测试要求，所设计器件提高了测试器件的重复利用率。